數(shù)據(jù)可靠

系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了自動遠(yuǎn)距離采樣、自動富集吸收、自動質(zhì)量控制、自動分析、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化。

避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

靈敏度高

大體積進(jìn)樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測能力，檢出限可達(dá)亞ppt級，縮短系統(tǒng)運(yùn)行周期。

監(jiān)測面廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個(gè)點(diǎn)位的樣品采集；

系統(tǒng)通過真空泵遠(yuǎn)距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測。

設(shè)計(jì)合規(guī)

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計(jì)，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的控制要求。

吸收高效

在線雙吸收模塊設(shè)計(jì)，有利于節(jié)約樣品分析時(shí)間，數(shù)據(jù)輸出更快更高效！